工研院机械所半导体组设备控制部,亚洲中国台湾机械
工研院机械所半导体组设备控制部官网简介：
工研院机械所半导体组设备控制部（Industrial Technology Research Institute）提供半导体设备控制、制程监控连线通信资讯及控制技术解决方案。
网址入口：http://secs.itri.org.tw/
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